光催化化设备处理废气的主要原理是利用光催化剂锐钛型二氧化钛（TiO2），二氧化钛（TiO2）作为一种新的光催化半导体材料，近半个世纪以来的成功运用。日本已将其列为本世纪发展的，被誉为当今世界上的空气净化，近来在中国也较广泛应用。光催化剂是光催化过程的关键部分，其活性的高低严重影响光催化效果。目前所用的光催化剂二氧化钛（TiO2）的光催化活性又不产生光腐蚀，且，是目前广泛使用的光催化剂。

在室温下，当UV紫外线光灯，波长在253.7nm以下的光量子照射到二氧化钛颗粒上时，催化剂在价带的电子被光量子所激发，跃迁到导带形成自由电子。二氧化钛而在价带形成一个带正电的空穴，这样就形成电子－空穴对。利用所产生的空穴的氧化及自由电子的还原能力，二氧化钛和表面接触的水分H2O和O2发生反应，产生氧化力的自由基，这些自由基几乎可分解和断裂所有物的官能键，改变废气中物分子的结构,并将其所含的氢（H）和碳（C）变成水和二氧化碳，废气中降解和净化。

 光催化氧化处理装置在处理废气的的同时，同时也具有较好的除臭功能。